機能性薄膜成膜技術エキスパート

業務内容 主にスパッタリングやMOCVDを用いた圧電薄膜・電極薄膜材料の開発、および成膜技術の開発・確立を担当していただき、応用デバイスの高特性化・高性能化を目指します。 加えて、これらの成膜技術の量産技術の確立にも取り組んでいただきます。

1. 圧電薄膜の高性能化および形成方法に関する研究・開発 （高濃度ScドープScAlN，PZT薄膜，エピタキシャル成長，分極方向制御，応力制御など） 2. 電極膜（金属薄膜:Al, W, Mo, Pt, …etc）の高性能化および、その形成方法に関する研究・開発 （低抵抗化，平坦化，結晶方位制御，エピタキシャル成長，密着性改善 など） 3. 薄膜の結晶性、物性、電気特性の評価/解析 （結晶性測定（ＸＲＤ分析等），組成分析，機械特性分析，電気／圧電特性測定／分析…etc） 4. 量産技術立上げ、膜特性の安定化（特性の安定化、面内均一性の改善 など） 5. 本社の薄膜材料/プロセス開発チームに対する技術指導 基本条件 経験あろ方が好ましい 専門知識 1. 金属材料/圧電材料の材料物性に関する知識 2. 薄膜形成技術（特にスパッタ、MOCVD）、薄膜成長に関する知識とスキル 3. 薄膜材料分析手法および材料特性、電気特性の測定手法に関する知見 4. 成膜以外のMEMSデバイス製造プロセスに関する知識・経験があれば尚可 業務経験 1. 薄膜材料／成膜技術の研究開発経験あり、特に圧電材料及び金属配線材料の薄膜形成技術における実績 2. 材料の基礎研究開発から成膜技術の確立、デバイス応用・量産化までの一連のプロセス経験、および実用化における技術課題への対応力 3. デバイス特性と成膜パラメータの相関分析力を有し、材料開発に応用できる方 その他 高い協調性やコミュニケーション能力を持ち、本社開発チームと円滑にコミュニケーションを取れる方歓迎